主旨: 公告本公司取得經濟部智慧財產局核發TW I627711專利
股票代號:5346
公司名稱:力晶
發言時間:2018-06-29 16:16:22
說明:
1.專利、商標、著作或其他智慧財產權之內容:
垂直式記憶體及其製作方法
2.專利、商標、著作或其他智慧財產權之取得日期:107/06/21
3.取得專利、商標、著作或其他智慧財產權之成本:NT$ 91,500
4.其他應敘明事項:
本發明提供一種垂直式記憶體,其包括複數個記憶單元,沿垂直於基底表面的第
一方向依序堆疊,其中各記憶單元包括通道層、閘極、儲存層、穿隧層、阻擋層
及空氣間隙層。通道層沿第一方向延伸,而閘極沿著平行於基底表面的第二方向
設置於通道層之一側。儲存層設置於通道層與閘極之間,並沿第一方向延伸。穿
隧層設置於通道層與儲存層之間,並沿第一方向延伸。阻擋層設置於閘極與儲存
層之間,其中阻擋層覆蓋閘極之頂面、底面及側面。空氣間隙層沿第一方向延伸
,並設置於儲存層與阻擋層之間或設置於儲存層與穿隧層之間。
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